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氣相沉積裝備
精工銳意氣相沉積裝備主要用于大尺寸、高品質單晶/多晶金剛石的生產制造。微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)技術具有低污染、沉積面積大、生長速率高的突出技術優勢,是國際上公認的大尺寸、高品級、功能金剛石產業化制備的最佳方法。